光氧催化废气处理设备利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射工业废气，如：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯等的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物等以后更容易被水溶解吸收。
光氧催化废气处理设备利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(游离氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用。
恶臭/工业废气利用排风设备引入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，光氧催化废气处理设备使工业废气物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳。
光氧催化废气处理设备利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射工业废气，如：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯等的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物等以后更容易被水溶解吸收。
光氧催化废气处理设备利用高能UV光束裂解工业废气中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，达到脱臭及杀灭细菌的目的。
光氧催化废气处理设备根据入口有机废气浓度（0~200mg/m³），以气相法纳米级二氧化钛P25催化剂，对VOCs，笨，甲苯，二甲苯等有机废气进行协同分解氧化反应，使有机废气降解转化成低分子化合物,水和二氧化碳,再通过排风管道排出室外
光氧催化废气处理设备在UV光氧催化氧化设备内，高能紫外线光束与空气、TiO2反应产生的臭氧、OH（羟基自由基）对恶臭有机气体进行协同分解氧化反应，同时大分子有机气体在紫外线作用下使其链结构断裂，使恶臭有机气体物质转化为无臭的低分子化合物或者完全氧化，生成水和CO2，整个分解过程在0.1秒内完成。
